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當前位置：首頁 >> 產(chǎn)品展示 >> 設備 設備名稱：滾輪式紫外納米壓印設備
型號：GD-N-03
設備性能：
兼容4,6,8英寸晶圓
全自動晶圓傳送，可進行小批量生產(chǎn)
最低線寬小于20nm
壓印深寬比至10:1
可進行斜齒光柵壓印
兼容高刻蝕比壓印膠壓印
蘇州光舵微納科技股份有限公司
常熟工廠地址：常熟市虞山高新區(qū)建業(yè)路2號常熟先進制造業(yè)科技園7C棟1樓，2樓
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